皮拉尼真空計(jì)
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產(chǎn)品名稱(chēng):
皮拉尼真空計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):
SP1
產(chǎn)品廠(chǎng)商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 皮拉尼真空計(jì) SP1
傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計(jì)測(cè)量單元?！笢y(cè)定子和電路一體型(測(cè)定子可以更換)」結(jié)構(gòu)，能夠降低成本和節(jié)省空間。
皮拉尼真空計(jì)
的詳細(xì)介紹
ULVAC 皮拉尼真空計(jì) SP1
特點(diǎn)
傳感器規(guī)格：如果不需要壓力指示器
?真空計(jì)成降低
?控制板空間節(jié)省
?配線(xiàn)簡(jiǎn)化
測(cè)定子更換更容易
燈絲使用耐腐蝕材料鉑
到目前為止使用的測(cè)量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0至5 V輸出（非線(xiàn)性輸出）
電源電壓：24 VDC輸入
用途
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
規(guī)格
IO、模擬 GND 和電源 GND 未隔離。