ULVAC 真空搬送機器人 ELEC-RZ
特點 根據(jù)行經(jīng),轉彎半徑,手臂數(shù)量,有多種可選。 支持10-6Pa的高真空。 用途 半導體設備的自動晶片搬送 各種真空實驗設備的基板搬送 規(guī)格
*1 因安裝臂和機械手而異。
手臂選擇列表
*1 *大距離為機器人使用我方手掌時的參考值,為 Φ300mm(選項)。 *2 手(拾取裝置)不包括在機器人內。如有需要,請與我們聯(lián)系。
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