ULVAC 異常放電防止單元 A2KH-25
特點
高產(chǎn)量
通過減少異常放電可以輸入更高功率
基板損傷減少
能夠減少電弧引起的基板損
控制基板的問題
與RF濺射相比,可以降低基板溫度
簡單的連接性
可以連接到現(xiàn)有設備
可變的反向脈沖頻率
A2KH-25:1kHz ~ 20kHz、A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz范圍內可使用
脈沖同步系統(tǒng)
可以輸出多個A2K單元的同步脈沖 *2 *3
主從連接可實現(xiàn)大容量
A2K-20K、40K*多可以6臺并聯(lián)運行
應用:脈沖同步系統(tǒng)
a2kdata.jpg
當同一個腔室內陰極互相靠近相對,或者,當多個A2K放電彼此干擾時。通過使用相位控制功能,可以使A2K的反向脈沖同相并防止放電干擾。*3 *4
*1:可以與弊社DC電源連接
*2:使用A2KH-25,A2K-20K,40K不能執(zhí)行脈沖同步和并行操作。
*3:A2KH-25需要外部同步單元(PHSM / PHSS)
*4:A2K-20K / 40K需要光同步電纜(Pulse link cable)
用途
FPD用反應濺射設備
工業(yè)涂層用反應濺射設備
彩色TFT用反應濺射設備
規(guī)格
| 型號 | A2KH-25 | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制電源輸入 | 輸入 | AC90 to 110V | AC100 to 240V | |
| 頻率 | 單相 50/60Hz | |||
| 功率 | 100VA | 400VA | ||
| 泄露電流 | 1mA or less | |||
| 輸入規(guī)格 | 工作電壓 | -100 to -800V | ||
| 工作電流 | 0 to 25A | 0 to 50A | 0 to 100A | |
| 輸入結構 | 連接器連接 | 連接器連接 | ||
| 輸出規(guī)格 | 脈沖范圍 | 5μs/10μs (內部開關切換) | 1 至 18μs (有頻率限制) | |
| 振蕩頻率 |
脈沖范圍 5μs 2、5、10、15、20 千赫茲 脈沖范圍 10μs 1、2.5、5、7.5、10 千赫茲 |
1 至 50 千赫 以 1KHz 為增量可變 |
||
| 反相脈沖電壓 | 直流電源發(fā)生器輸出電壓的 10 至 20%。(取決于負載阻抗) | |||
| 耐壓 | 連續(xù)運行 | -1500Vdc | ||
| 并聯(lián)運行 | 無 | *多可控制 6 臺 *5 | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | |||
| 尺寸(寬×深×高) | 238×450×149mm | 483×630×177mm | ||
| 重量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
| 適用標準 | RoHs | |||
工作環(huán)境溫度 5℃ 至 40℃(無冷凝現(xiàn)象)
操作環(huán)境: 避免陽光直射、高溫、灰塵、振動,無腐蝕性氣體。
*5: A2K-20K 和 A2K-40K 不能一起使用。
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