ULVAC VLP?SA063KC 真空角閥雙動(dòng)式VLP系列
特點(diǎn)
SUS角閥可以烘烤至150℃。
連接法蘭有4種類型可選擇:JIS-VF,ISO-KF,ISO-K和ISO-CF。
提供單動(dòng)式和復(fù)動(dòng)式2種。 單動(dòng)式僅需要一個(gè)氣動(dòng)管線。
不銹鋼材料。 (但是,VLP-U由鐵制成,VAP,VAH和VFR由鋁制成。)
規(guī)格
| 型式 | VLP-SA |
| 弁板許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa | 0.10 |
| 弁開時(shí)許容*大差圧(正圧/逆圧) MPa | 0.10 |
| 閥板密封方式 | 0 環(huán) |
| 軸密封方式 | 0 環(huán) |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 雙作用氣缸 |
| 泄漏量(外部)*1 Pa?m3/s | ≦1.0E-10 |
| 泄漏量(內(nèi)部)*1 Pa?m3/s | ≦1.0E-10 |
| 使用圧力範(fàn)囲(絶対圧) Pa | 大気圧~1.0E-5 |
| 允許烘烤溫度(靜止時(shí))*2 ℃ | 本體:150*3,駆動(dòng)部:70(センサー:60) |
| 動(dòng)作環(huán)境溫度 ℃ | 5~70(センサー:5~60) |
| 使用流體溫度 ℃ | 5~70 |
| 加熱和冷卻速度 ℃/h | ≦30 |
| 使用環(huán)境雰囲気 | 非腐食性雰囲気 |
| 使用流體 | 非腐食性流體 |
| 氣缸供氣壓力 MPaG | 0.40~0.60 |
| 保証動(dòng)作回?cái)?shù)*4 | 100,000 |
| 運(yùn)転姿勢(shì) | 自由 |
| 開/關(guān)傳感器 | 選件(單獨(dú)購(gòu)買) |
| 真空側(cè)主要部品材質(zhì) | SUS304 |
| 大気側(cè)主要部品材質(zhì) | SUS304,AL-6061(アルマイト) |
| 波紋管材料 | ー |
| 密封部件材料(真空側(cè)) | FKM |
| 油脂類(真空側(cè)) | 氟潤(rùn)滑脂 |
| 吊具取付部 | 無(wú)*5 |
| RoHS | 対応 |
*1 泄漏不包括 0 形環(huán)的滲透。 對(duì)于 0 形圈軸封,開/關(guān)操作時(shí)的外部泄漏量不在規(guī)定范圍內(nèi)。
*2 請(qǐng)勿在烘烤期間進(jìn)行開/關(guān)操作。
*3 VLP-MB、VLH-MB 本體(打開時(shí)):200°C,本體(關(guān)閉時(shí)):150°C。
*4 有關(guān)詳情,請(qǐng)參閱使用說明書。
*5 對(duì)于 VLP-SA350JH,主體上附有懸掛裝置(吊環(huán)螺栓 M12 x 2
上海巖瀨國(guó)際貿(mào)易有限公司
Tel:021-63333-365
Fax:021-63333-367
Add:上海市松江區(qū)滬亭北路199弄九亭中心5號(hào)樓811室
Email:sh@iwase365.com