分光橢偏儀
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產(chǎn)品名稱:
分光橢偏儀
產(chǎn)品型號(hào):
UNECS-1500A
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 分光橢偏儀 UNECS-1500A
UNECS-1500A/2000A/3000A通過(guò)自動(dòng)R-θstage和自動(dòng)對(duì)焦功能，快速自動(dòng)測(cè)量整個(gè)樣品表面的膜厚，并通過(guò)彩色地圖顯示膜厚分布。
分光橢偏儀
的詳細(xì)介紹
ULVAC 分光橢偏儀 UNECS-1500A
特點(diǎn)
高速測(cè)定：
獨(dú)特的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。
適用于可見光譜：
波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如獨(dú)特的便攜類型，手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測(cè)量
規(guī)格