| 型式 | HA-2MS | HA-3MS | HA-4MS |
|---|---|---|---|
| 駆動(dòng)源 | エアー 0.3~0.7MPa | ||
| 潤(rùn)滑 | 無(wú)給油またはタービン油1 種(ISOVG32) | ||
| 周?chē)鞙囟?(℃) | 5~60 | ||
| 動(dòng)作ストローク(mm) | 16 | 26 | 41 |
| シリンダ徑(mm) | φ20 | φ25 | φ40 |
| ロッド徑(mm) | φ10 | φ14 | φ16 |
| 內(nèi)部容積[往復(fù)](cm3/回) | 4.4 | 10.8 | 47.4 |
| 繰り返し精度(mm) | ±0.03 | ||
| 本體質(zhì)量 (kg) | 0.28 | 0.58 | 1.52 |
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